WLR 晶圆级可靠性测试


⚫ 系统并行测试支持同时测试15 Dies,可扩展
⚫ 数据记录时长至1000小时
⚫ 根据设定间隔记录电压/电流波形
⚫ Chuck温度最高175摄氏度
⚫ 系统每通道漏电流小于100pA
⚫ 系统软硬件集成
➢ 使用2636源表进行 TDDB 测试
➢ 使用ACS平台集成硬件与软件
➢ 探针台使用硒电半导体PT-920B


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