晶圆级 WAT/PCM 测试


• 测试目的:

晶圆验收测试(WAT)或过程控制监控(PCM)是

通过测试放置在晶圆预定测试位置上的各种测试结构,
以得到晶圆的良好性或适合性的初始测量。对其进行分
析,有助于找到阻碍产量和造成运营效率地下的故障原

• 系统特点:

S530-HV支持1100V高压测试,高电流精度,

支持过压过流保护功能。极高的软件测试效率
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