4200A-SCS参数分析仪技术资料
亲眼见证创新！ 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
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± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
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100 fA测量分辨率
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选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
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10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
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四象限操作
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2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
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AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
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1 kHz - 10 MHz 频率范围
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± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
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选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
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两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
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200 MSa/s，5 ns 采样率
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±40 V (80 V p-p)，±800 mA
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瞬态波形捕获模式
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任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
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两个高速脉冲电压源通道
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±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
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任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
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在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
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把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
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在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
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把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
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降低电缆电容效应
为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪
使用强大的Clarius 软件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试，结果清晰明了
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4200A-SCS-PK1
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率
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高分辨率 IV 套件
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对于两端和三端设备，MOSFET、CMOS
检定套件 4200A-SCS-PK1 包括：
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4200A-SCS 参数分析仪
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(2) 4200-SMU 模块
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(1) 4200-PA 前置放大器
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(1) 8101-PIV 测试夹具与采样设备
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4200A-SCS-PK2
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210V/100mA，0.1
fA 分辨率，1kHz - 10MHz
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高分辨率 IV 和 CV 套件
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对于高
K 电解质，深亚微米 CMOS 检定套件 4200A-SCS-PK2 包括：
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4200A-SCS 参数分析仪
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(2) 4200-SMU 模块
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(1) 4200-PA 前置放大器
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(1) 4210-CVU 电容-电压模块
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(1) 8101-PIV 测试夹具与采样设备
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4200A-SCS-PK3
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210V/1A，0.1
fA 分辨率，1kHz - 10MHz
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高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
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对于功率设备、高
K 电解质，深亚微米 CMOS 设备检定套件 4200A-SCS-PK3 包括：
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4200A-SCS 参数分析仪
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(2) 4200-SMU 模块
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(2) 4210-SMU
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(1) 4200-PA 前置放大器
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(1) 4210-CVU 电容-电压模块
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(1) 8101-PIV 测试夹具与采样设备
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4200-BTI-A
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用于使用尖端
CMOS 技术套件进行复杂的 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 包括：
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超快 NBTI/PBTI 套件
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(1)
4225-PMU 超快 I-V 模块
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(2) 4225-RPM 远程前置放大器/开关模块
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自动化检定套件 (ACS) 软件
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超快 BTI 测试项目模块
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电缆
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